根據(jù)工作原理的不同，三豐輪廓儀可分為接觸式輪廓儀（觸針式）和三維光學(xué)表面輪廓儀（白光干涉儀）。三維光學(xué)表面輪廓儀不同于接觸式輪廓儀和三維光學(xué)表面輪廓儀，因?yàn)樗鼈兊墓δ懿煌?

        接觸式三豐輪廓儀，主要是來(lái)測(cè)工件測(cè)長(zhǎng)寬高尺寸、角度、直徑、半徑等參數(shù)，還可以進(jìn)行一些形位公差的評(píng)定，精度都是微米級(jí)別的。 還有一些輪廓儀是把輪廓測(cè)量功能和粗糙度測(cè)量功能集成在一起，一次性即可測(cè)量出輪廓尺寸和粗糙度參數(shù)，所以接觸式輪廓儀主要用于零件輪廓尺寸測(cè)量，比如汽配行業(yè)、軸承行業(yè)、五金工具、機(jī)械加工、緊固件行業(yè)、軸承行業(yè)、模具行業(yè)等等。

        光學(xué)3D表面三豐輪廓儀也叫白光干涉儀，主要是用于產(chǎn)品微觀形貌測(cè)量，主要是測(cè)微觀粗糙度，精度一般是亞微米和納級(jí)別的。光學(xué)3D表面輪廓儀主要在半導(dǎo)體晶圓加工、3C行業(yè)的蓋板、光學(xué)元器件、超精密加工以及各高等院校實(shí)驗(yàn)室。

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